電動滑台

EZS系列 無塵室對應

電動滑台 EZS系列 無塵室對應
  • 滾珠螺桿驅動
  • 搭載閉回路步進馬達
  • 行程50〜850 mm
  • 小型・高剛性・無塵室對應

特徵 | 電動滑台 EZS系列 無塵室對應

EZS系列無塵室對應產品,是可以在無塵室環境下直接使用EZS系列功能、性能的產品。

簡易防塵構造(非無塵室對應產品)的EZS系列,詳情請參閱此處。

無塵室對應(ISO規格潔淨度等級3)。

除了低發塵的滾輪構造外,亦採用低發塵潔淨潤滑油,實現ISO規格等級3* (相當於FED規格等級1)的潔淨度。

  • *關於ISO規格 等級3
  • [ISO規格 等級3]
    ISO規格 等級3
  • 吸引用接頭

採用低發塵潔淨潤滑油

低發塵清潔潤滑脂用於滾珠螺桿、導軌、軸承等。

採用低發塵潔淨潤滑油

以較少的吸引量實現等級 3 的潔淨度

例如, EZSM3 時,以約 20l/min 以上的內部吸引量實現 ISO 規格等級 3 的潔淨度。

採用低發塵潔淨潤滑油

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  • * MECHATROLINK-Ⅲ為MECHATROLINK協會的註冊商標。
  • * SSCNETⅢ/H為台灣三菱電機股份有限公司的註冊商標或商標。

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