特徵 | 真空型步進馬達

真空式馬達的特點及結構

• 為了抑制氣體釋放，馬達外殼使用鋁、不鏽鋼材質，表面不塗裝。此外，軸承使用真空用潤滑油。
• 釋放的氣體與通常潔淨環境下的成分相同，因此無須擔心污染真空環境。
• 使用可承受熱處理溫度的耐熱用線圈。

真空式馬達的優點

使設備小型化，擴大設計的自由度

在大氣中設置馬達時，需使用運轉導入機等，設備體積會變大。真空型馬達可將設置於真空環境內，因此可讓設備小型化。此外，αSTEP AR系列不需要位置確認用檢知器，有助於降低成本。

使用αSTEP AR系列，無需編碼器即可進行位置監控

αSTEP AR系列除了透過閉回路控制監視馬達資訊外，還搭載各種警示輸出功能。不需要真空對應型的昂貴編碼器。

搭載轉子位置檢知器（Resolver），可檢知馬達資訊並控制馬達。

在真空中實現各種動作

常用於各式各樣的用途，如半導體製造設備及電子顯微鏡的測量機器等。

真空型馬達可對應真空環境下的多軸平台，解決難以設計運轉導入機的問題。可在真空中組合複數軸，實現更複雜的動作。

低損失的αSTEP AR系列，最適合用在真空中解析、加工等用途

常被運用於低真空中的物質解析、高輸出雷射加工、真空鍍膜等需要在真空環境下定位的用途。

有助於維持真空環境的品質

抑制氣體釋放的設計

為了抑制產生氣體釋放，馬達表面無進行塗裝，軸承部使用真空用潤滑油。主要的殘留氣體與通常潔淨環境下的成分相同，使用時無須擔心污染真空室。

抑制溫度上升維持真空壓

通常，隨著馬達電流值增加，真空壓力會變高。馬達溫度上升主因是線圈或樹脂材料的水分蒸發增加而導致。若要讓真空壓維持較低狀態，重點在於讓馬達保持較低的溫度。

αSTEP AR系列具有依據負載轉矩大小調整馬達電流的功能（CC模式）。使用CC模式可抑制馬達溫度，並使維持在低真空壓。

下圖為連續運轉及運轉週期比率（斷續運轉）時的轉速―溫度特性。

• 即使是溫度容易升高的連續運轉，若轉速維持在900r/min以下，外表溫度不會超過100℃。
• 500r/min週期運轉時的外殼溫度與各模式相比，CC模式時為46℃，通常模式時為80℃。CC 模式下溫度降低 34°C。

種類

電源輸入	系列名稱	基本步級角 [°]	真空度 [Pa]	安裝尺寸 [mm]				重量 [kg]
				28	42	60	85
AC		0.36	10-5	-	●	●	●	0.47～1.9
DC				●	●	●	●	0.2～3
DC		0.72	10-4	-	●	●	-	0.21～1.3
			10-5	●	-	-	-	0.11～0.2

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