電動滑台 EZS系列 無塵室對應 發塵量

無塵室對應發塵量

這EZS該系列透過使用低發塵潔淨潤滑油和不鏽鋼板，提高了氣密性，達到了 ISO規格3級（相當於 FED規格1級）。

噪音的測量方法

潔淨度等級依照「JIS B 9926」測量。

〔ISO規格〕

類別/粒徑 (μm)	Class 3
0.1	1000以下。
0.3	102以下。
0.5	35以下。

發塵量與吸引量的相關圖（樣本資料的實測值）

• *特性圖上的產品名稱是為了方便區分而列出的。
  AR系列配備的產品與AZ系列化產品的特性相同。