電動滑台
EZS系列 無塵室對應
- 滾珠螺桿驅動
- 搭載閉回路步進馬達
- 行程50〜850 mm
- 小型・高剛性・無塵室對應
特徵 | 電動滑台 EZS系列 無塵室對應
EZS系列無塵室對應產品,是可以在無塵室環境下直接使用EZS系列功能、性能的產品。
簡易防塵構造(非無塵室對應產品)的EZS系列,詳情請參閱此處。
無塵室對應(ISO規格潔淨度等級3)。
除了低發塵的滾輪構造外,亦採用低發塵潔淨潤滑油,實現ISO規格等級3* (相當於FED規格等級1)的潔淨度。
- *關於ISO規格 等級3
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[ISO規格 等級3]
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採用低發塵潔淨潤滑油
低發塵清潔潤滑脂用於滾珠螺桿、導軌、軸承等。
以較少的吸引量實現等級 3 的潔淨度
例如, EZSM3 時,以約 20l/min 以上的內部吸引量實現 ISO 規格等級 3 的潔淨度。
- *EZSM4、EZSM6的發塵量與吸引量的相關圖請參閱此處。
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