無刷馬達 BLH系列 驅動器性能提升
2020年5月25日時的資訊。
BLH系列為DC電源輸入型的小型無刷馬達,適合設置於設備內部。自從2006年發售後,主要廣受檢討設備小型化的客戶所採用。另一方面,伴隨應用的變化及多樣化,馬達的使用方法及需求逐年變化。為了未來能讓更多客戶使用,對驅動器性能進行提升。特別對馬達控制採用向量控制的正弦波驅動方式,實現「提升速度追蹤性」及「降低噪音」。除此之外,也可支援資料設定軟體MEXE02,可進行數位設定或轉矩管理。
本資料說明提升BLH系列驅動器性能所採用的技術。
1. 前言
由於半導體製造設備或FPD製造設備、各種分析設備等要求在真空中高精度定位控制,因此大多使用真空用步進馬達。但是,舊有的真空用步進馬達由於使用開回路控制,當在密閉的真空容器內,因為過負載導致發生位置偏差時,也不易察覺。
為了使用閉回路控制,馬達上需有檢知轉子位置用的檢知器。一般的伺服馬達使用編碼器,但通常的編碼器,其檢知器部分使用各種檢知元件或電子零件等,難以在真空中使用,因此幾乎沒有在真空中可使用的高性能編碼器。因此,也幾乎未曾有真空用伺服馬達發售。為了解決以上問題,本公司開發了搭載獨家回授控制技術的AR系列真空型(圖1)馬達。

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舊有產品(50W) -
BLH2D(數位設定型)
圖2 BLH驅動器外觀比較
本資料說明提升性能所採用的技術。
BLH2D雖有「類比設定型」、「數位設定型」、「RS-485通訊型」3種類型,此處針對「數位設定型」進行說明。詳情請看網頁介紹。
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