步進馬達全閉回路控制系統，以合理的成本實現精度的提升
| 產業 | 半導體、平面顯示器、電子元件 |
|---|---|
| 工程・設備名稱 | 精密光學檢測設備 |
| 課題 | 提高定位精度、降低成本、振動對策 |
課題：提升對位裝置精度、降低設備成本
以往的問題點
- 由於機構的組裝誤差，對位精度不穩定。
- 想減少機構中的微振動。
- 現行設備使了伺服馬達的全閉回路控制，想再降低設備成本。
解決方法：減速機型5相步進馬達的全閉回路控制可降低成本並實現高精度定位
在精密光學設備中，定位台的組裝誤差和微振動會影響對位精度。
透過將CVD系列全閉回路控制型驅動器與諧和式減速機型5相步進馬達結合，可以在保持步進馬達易用性的同時實現高精度定位。
僅進行最終位置調整的全閉回路控制，防止超出規格
步進馬達適用於短距離高精度定位。用於短定位距離，如最終位置調整軸等，可採用5相步進馬達及CVD系列全閉回路控制型驅動器來降低系統配置成本。在這個系統中，透過開回路控制進行的定位設定會將回饋信號從線性編碼器送到驅動器，並在位置指令完成後，轉換為全閉回路控制進行位置修正。透過全閉回路控制進行最終調整，可實現次微米級的高精度定位。
使用CVD系列全閉回路控制型驅動器進行最終位置調整的示意圖
與諧和式減速機組合，實現高精度定位
透過搭配無齒隙諧和式減速機的5相步進馬達，可以實現高定位精度。高減速比的諧和式減速機型可抵抗負載波動、並減少馬達軸振動，有助於穩定定位。
步進馬達全閉回路控制，降低配置成本
CVD系列全閉回路控制型的建議售價（未稅）為14,910元，讓您以合理的成本配置全閉回路控制系統。與小型高轉矩的5相步進馬達PKP/PK系列結合，也有助於節省空間。
適用產品 CVD系列全閉回路控制型
組合馬達
- 5相步進馬達 PKP系列
- 5相步進馬達 PK系列
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