步進馬達全閉回路控制，滿足小型化需求
| 產業 | 半導體、平面顯示器、電子元件 |
|---|---|
| 工程・設備名稱 | 半導體製造設備（檢查、離子注入、曝光等） |
| 課題 | 提高定位精度、降低成本、振盪 |
課題：提高對位精度
以往的問題點
- 半導體製造工程必須滿足微縮化的需求，但目前的定位精度不夠。
- 我想在停止時快速地使設備完全靜止。
解決方法 用於次微米高精度定位的全閉回路控制步進馬達
在持續小型化趨勢的半導體製造流程中，提高對位精度成為需要解決的課題。
CVD系列全閉回路控制型可對5相步進馬達進行全閉回路控制。定位開始時，利用步進馬達的高響應性進行開回路控制，位置指令完成時，則利用外部檢知器的回授進行位置修正。
可對應線性編碼器的全閉回路驅動器，讓精度再提升
CVD系列全閉回路控制型與線性編碼器相容，可直接回饋機構上的位置，並修正檢測位置與指令位置之間的差異。與搭配使用的線性編碼器的解析度相對應，可實現次微米級的高精度定位。
與線性編碼器相容的CVD系列全閉回路控制型高精度定位示意圖
步進馬達在停止時防止振盪
CVD系列全閉回路控制型採用步進馬達，因此在定位完成且機器保持靜止狀態時不會出現振盪。此外，也不需要像伺服馬達那樣進行客製化增益調整。
透過全閉回路控制實現成本降低和驅動器小型化
CVD 系列是業界體積最小、輕量、高性能驅動器，有助於節省空間。全閉回路控制型的建議售價（未稅）為14,910元，可以以合理的價格配置全閉回路控制系統。
驅動器的配線用連接器提供不同方向的產品，使其適用於狹小空間的接線。
提案產品：CVD系列全閉回路控制型
組合馬達
- 5相步進馬達PKP系列
- 5相步進馬達PK系列
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