減少半導體製造設備佔地面積 小型多軸驅動器的導入事例
| 產業 | 半導體、平面顯示器、電子元件 |
|---|---|
| 工程・設備名稱 | 半導體製造設備（檢查、蝕刻、沉積、鍵結等） |
| 課題 | 節省空間、減少配線工時 |
課題：實現馬達軸數增加的同時設備小型化
以往的問題點
- 由於工序增加或工序變更，需要增加設備上的馬達軸數，但會導致驅動器和配線空間、以及配線工時的增加
- 隨著設備數量的增加，想縮小設備尺寸
解決方法 薄型多軸驅動器、實現節省空間
在先進半導體的製造過程中，為了適應小型化和多層結構，所使用的設備數量逐漸增加。另一方面，設備安裝空間有限，為了提高次世代半導體製造設備的產能，需要減少整體設備的佔地面積。
AZ系列多軸驅動器薄型可以用一台控制4軸馬達，與現有的多軸驅動器相比，可以有效減少空間。
寬度為 60 mm 的薄型多軸驅動器，安裝空間與既有型號相比減少約 66%
以往單軸驅動器需要占用4台180mm的寬度，而多軸驅動器支援4軸驅動也需要147mm的空間。
AZ系列多軸驅動器薄型支援4軸驅動，寬度為60mm，與單軸驅動器相比可節省約66%的空間。驅動器安裝空間的大幅減少有助於縮小佔地面積，從而讓設備整體小型化。
AZ系列多軸驅動器薄型減少安裝空間示意圖
用網路對應多軸驅動器省接線
AZ系列多軸驅動器薄型除了EtherCAT之外，還有支援MECHATROLINK-III和SSCNETIII/H的產品陣容。1台驅動器可以控制複數軸，從而減少電控箱內的接線。
相容安裝尺寸42mm以下的馬達
AZ系列多軸驅動器薄型可以驅動AZ系列DC電源輸入的馬達、以及搭載這些馬達的電動模組產品。如果要使用安裝尺寸小於42mm的馬達進行多軸驅動，請優先考慮採用薄型驅動器。
提案產品：AZ系列 多軸驅動器 薄型
備有對應EtherCAT、MECHATROLINK-III、SSCNETIII/H系統的產品。
可組合馬達
AZ系列DC電源輸入
安裝尺寸 □20 mm、□28 mm、□42 mm
可組合電動模組產品
- 搭載AZ系列 電動滑台EZS系列 DC電源輸入
- 搭載AZ系列 電動缸 EAC系列 DC電源輸入
- 搭載AZ系列 小型電動缸 DR系列／DRS2系列
- 搭載AZ系列 中空旋轉平台 DGⅡ系列 DC電源輸入
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