晶圓單片清洗設備
晶圓單片清洗設備
晶圓單片清洗設備應用提案
晶圓單片清洗設備由於工藝效果好、均勻性佳，不易產生交叉污染，逐漸成為了半導體製造中的主流濕式清洗設備。該設備的晶圓上下料、載具升降機構、噴淋/清洗裝置等機構應用上，東方馬達均提供強有力的解決方案。
通過搭載混合控制系統αSTEP AZ系列及其模組化產品，達成小型化、高精度、節省設計、裝配的人力和時間成本等多項課題。 以下為您介紹各機構應用提案：
載具升降機構
採用東方馬達與TOYO雙品牌合作推出的電動缸，強悍的馬達性能加上最佳機構特性，組成小型化、高剛性、低發塵量的電動滑台。
通過電動滑台實現步進馬達高響應、低振動、無Hunting的運行。備有不同框面、長度的規格，可根據裝置空間、環境選用。
與自行組裝的機構相比，能夠減少設計工時、節省空間。
馬達搭載ABZO編碼器
無需電池的機械式絕對式編碼器。可提高生產力並降低成本。
由於為絕對式系統，不需要原點檢知器、極限檢知器等外部檢知器。
高速原點復歸＋原點復歸精度提升
沒有原點檢知器、極限檢知器也能原點復歸。無須在意檢知器靈敏度，可實現高速原點復歸並縮短生產週期。同時，不會因為檢知器靈敏度造成原點位置不一。可提升原點的精度。
無需整定也能穩定運轉，開回路與閉回路的融合
通常為開回路控制運轉，當過負載時立即切換成閉回路控制，防止異常停止。
由於馬達搭載了檢知器，因此可以隨時監控位置和速度資訊。也有方便監控運轉狀態的「定位完成信號」等。
微型電動缸、高剛性、小型化
軌道為內嵌設計，大幅提升剛性，鏈帶型的滾珠結構使噪音降低、壽命增加。
