夾取晶圓時，如何解決因馬達振動而受損的問題？
課題
馬達振動導致晶圓受損
以往的問題
- 當馬達驅動長桿機構夾取晶圓時，長桿機構會放大馬達的振動，使脆弱的晶圓受損。請問要如何減少振動，防止晶圓因振動而受損？
解決對策
減輕振動的步進馬達提案
使用減速機型步進馬達，可有效減輕振動，縮短整定時間，有效減少晶圓因振動而破損的現象。
當步進馬達的負載慣性慣量較大時，起動、停止時的過衝現象和回衝現象會變大，馬達的振動也會變大。
如下圖所示，當慣性慣量增加時，振動週期和振動衰減時間也會隨之增加。
實現高精度定位
而減速機型步進馬達擁有更大的容許慣性慣量，慣性比更小，因此可減輕過衝、回衝現象，減輕馬達振動。
東方馬達步進馬達PKP系列CS減速機型保持原有的減速機尺寸，實現了轉矩和負載提升。與一般減速機型相比，容許轉矩提高一倍。在明顯減輕振動的同時，也能夠處理更大更重的加工工作物。
另外，藉由將齒輪構造最佳化，實現中心軸的改良。減輕了客戶在設計安裝板的所需工時，並提升了電纜線出線方向的自由度。
• 如構造圖所示，出力軸避開齒輪，放置在中心位置。
• 中心軸使電纜線出線方向的自由度提升
