真空腔體小型化事例
課題
想讓真空設備小型化
既有設備
- 真空腔體內運輸工作物的設備
- 伺服馬達透過皮帶輪和旋轉傳動系統驅動滾珠螺桿
用途例：半導體零件、液晶面板等的加工。
以往的問題點
- 由於真空腔體內無法安裝馬達，因此需要旋轉傳動系統等部件，導致設備體積增大
解決方法
αSTEP AR系列 真空型
在真空腔體內設置馬達，實現設備小型化
αSTEP AR系列真空型可安裝在真空腔體內，從而節省驅動裝置的空間、使設備小型化。
具體應用範例
將馬達設置於真空腔體內、實現設備小型化
AR系列真空型可用於高真空（10-5 Pa ) 環境中。
由於馬達可安裝在真空腔體內，無需使用旋轉傳動系統、皮帶或滑輪。有助於節省空間並實現設備小型化。
採用防止腔體污染的設計
為了抑制氣體釋放，馬達表面不塗裝、軸承使用真空用潤滑油。
釋放的氣體與通常潔淨環境下的成分相同，因此無須擔心污染真空環境。
即使在真空腔體內也可回授馬達的狀態
由於配備了適用於真空環境的解析器，可像伺服馬達一樣監視位置信息、過負載等狀態。
真空對應的解析器構造
