開發搭載對應真空Resolver檢知器的AR系列真空型
此為截至2011年6月24日的資訊。
由於半導體製造設備或FPD製造設備、分析設備各種分析設備等必須能在真空中高精度定位控制，因此大多使用真空用步進馬達。但是，一般的真空用步進馬達由於使用開回路控制，當在密閉的真空容器內，因為過負載導致發生位置偏差時，也不易察覺。為了解決此問題，並提高穩定性，東方馬達開發了搭載獨家回授控制技術的AR系列真空型馬達。馬達搭載對應真空的檢知器，可在高真空（10-1～10-5Pa）中使用。此外，藉由馬達低損失化及對驅動器追加新的電流控制方式，實現大幅減低發熱。提升運轉生產節拍，並減低產生的揮發氣體。
1. 前言
由於半導體製造設備或FPD製造設備、各種分析設備等要求在真空中高精度定位控制，因此大多使用真空用步進馬達。但是，舊有的真空用步進馬達由於使用開回路控制，當在密閉的真空容器內，因為過負載導致發生位置偏差時，也不易察覺。
為了使用閉回路控制，馬達上需有檢知轉子位置用的檢知器。一般的伺服馬達使用編碼器，但通常的編碼器，其檢知器部分使用各種檢知元件或電子零件等，難以在真空中使用，因此幾乎沒有在真空中可使用的高性能編碼器。因此，也幾乎未曾有真空用伺服馬達發售。
為了解決以上問題，本公司開發了搭載獨家回授控制技術的AR系列真空型（圖1）馬達。
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