減少電控箱空間的步進馬達驅動器 省配線・省空間事例

產業 半導體、平面顯示器、電子元件
工程・設備名稱 半導體製造設備(檢查、蝕刻、沉積、鍵結等)
課題 減少配線工時、節省空間、減少零件數量、減少管理工時

課題:2相/5相步進馬達併用導致的電控箱空間被壓縮與配線工時增加

以往的問題點

  • 希望在增加半導體製造設備中馬達軸數的同時,於次世代機種中縮小設備的佔地面積。
  • 增加軸數需要增加驅動器安裝和接線空間,以及更多的接線工時。
  • 由於併用2相/5相的步進馬達,每個馬達對應的驅動器不同,導致零件的管理項目增加。
  • 想統一使用EtherCAT來控制。

解決方法 使用1台可控制2相和5相的多軸驅動器,來減少設備的佔地面積。

以往、在一台設備中同時使用2相/5相步進馬達時,需要為每個馬達配對一套驅動器。
CVD系列多軸型EtherCAT對應,單台驅動器即可對應4軸馬達,並可同時控制2相和5相步進馬達。電控箱的所需空間大幅減少,並節省配線讓佔地面積更小。

使用單一驅動器對 2 相/5 相步進馬達進行 4 軸控制

CVD系列多軸型EtherCAT對應,單台驅動器即可對應四軸馬達,並可同時控制2相和5相步進馬達。空間效率高,因此即使軸數增加,也不會壓迫到電控箱空間。

CVD多軸型驅動器系統構成圖

CVD 系列多軸型 EtherCAT對應縮減電控箱空間示意圖 

一般電控箱空間
一般電控箱空間
縮減後的電控箱空間
縮減後的電控箱空間

驅動器可接收編碼器資訊,從而降低系統配置成本

CVD系列多軸型EtherCAT對應驅動器具備無需透過上位控制器即可接收編碼器資訊的功能。在使用帶編碼器的馬達時,無需在上位控制器使用高速計數器模組等,從而實現設備成本降低和系統構成的簡化。

透過自動電磁剎車控制功能實現省配線化

CVD系列多軸型EtherCAT對應,可自動控制馬達的電磁剎車。無需剎車控制回路,減少了程式設計時間。可以直接從驅動器向電磁剎車供電,從而減少接線。

檢知器的電源由驅動器提供

CVD系列多軸型EtherCAT對應驅動器可以直接從驅動器提供24V電源給檢知器,因此上位控制器不需要配置額外的電源。這樣可以減少外部配線,並減少配線工時。

提案產品:2相/5相步進馬達驅動器 CVD系列 多軸型 EtherCAT對應

CVD系列 多軸型 EtherCAT對應
CVD系列 多軸型 EtherCAT對應

可組合馬達

  • 2相步進馬達PKP系列
  • 5相步進馬達PKP/PK系列

可組合電動模組產品

  • 中空旋轉平台DH系列
  • 小型電動缸DRLⅡ系列

●我們提供可以簡單安裝於步進馬達的滑動螺桿・樹脂螺母直線動作機構周邊機器。請一併使用。

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