專為半導體產業提供的解決方案
組裝、加工、檢查設備的提案
介紹在執行多道製程的設備上，於上下料設備、移載製程、加工製程中導入αSTEP AZ系列的優點。
系統構成
上下料設備
透過採用將步進馬達和齒條·齒輪一體化的直線馬達，輕鬆實現高負載、高精度的上下驅動。
簡單建構「輕巧」、「高強度」的直線動作機構
齒條·齒輪系統L系列可將馬達的運轉運動簡單轉換為直線運動。
直動機構部雖然設計輕巧，但由於施以高強度加工，因此可搬運較大的負載。
齒條·齒輪系統的動作
齒輪軸的馬達經由減速機（減速部）承受，再從齒輪減速機傳達至齒條，轉換為直線動作。
所需零件少，縮短設計及組裝時間
由於齒條·齒輪系統組裝所需的零件數量較少，能減少設計（部件選用、機構檢討、設計圖管理等）及組裝所需的工時，有助於縮短設備完成的時間。此外，固定齒條兩端即可使馬達自行移動，因此可以設置在設備高度受限的場所。
【使用零件】
①固定側擋塊 ②搬運工作台 ③直線導軌 ④支持側擋塊 ⑤聯軸器外殼 ⑥聯軸器 ⑦固定側軸承 ⑧滾珠螺桿 ⑨支持側軸承
高精度定位
藉由活用齒條的移動方向（垂直），實現高反覆定位精度，可使工作物進行高精度的升降。
反覆定位精度（參考值）
為可搬重量時的實測值。因負載、驅動條件、安裝方向而變化。
| 品名 | 齒條移動方法 | 反覆定位精度[mm] |
|---|---|---|
| LM2 | 平行 | ±0.25 |
| LM4 | ||
| LM2 | 垂直 | ±0.07 |
| LM4 |
上下驅動亦相當簡單。若需實施防掉落對策，
亦備有附電磁剎車的機種。
可以mm為單位設定
驅動馬達採用αSTEP AZ系列。
使用資料設定軟體MEXE02即可輕鬆以mm為單位設定移動量，實現各種直線動作的用途。
- 【最小移動量】
- 高速型 0.01mm
高可搬重量型 0.001mm
- 【使用速度範圍】
- 0 ～ 500mm/s（高速型）
0 ～ 90mm/s（高可搬重量型，安裝尺寸60mm）
0 ～ 40mm/s（高可搬重量型，安裝尺寸80mm）
何謂
αSTEP是以步進馬達為基礎的馬達，採用獨創的混合式控制方式，兼具「開回路控制」與「閉回路控制」的特性。αSTEP可隨時監視位置，依狀況自動切換為開回路控制或閉回路控制。一般狀況下，可透過開回路控制與指令同步驅動，發揮高響應性。假設成為過負載狀態，位置偏差在±1.8°以上時，則切換為與伺服馬達相同的閉回路控制，進行修正動作。是一款兼具操作性及穩定性的馬達。
藉由ABZO編碼器管理位置資訊，減少因檢知器問題而導致設備停止
αSTEP AZ系列搭載即時管理位置資訊的多圈數絕對式編碼器（ABZO編碼器）。由於為絕對式系統，因此不需要原點檢知器、極限檢知器等外部檢知器。不僅減少部件成本及配線工時，也能減少因檢知器斷線或檢知錯誤等而產生的問題，有助於降低成本。
刊載產品
齒條·齒輪系統L系列可將馬達的運轉運動簡單轉換為直線運動。
直動機構部雖然設計輕巧，但由於施以高強度加工，因此可搬運較大的負載。
齒條·齒輪系統為組合齒條·齒輪機構與馬達的電動模組產品。
馬達部採用搭載無需電池ABZO編碼器的αSTEP AZ系列，除了高精度定位，還可搬運最高100kg的高載重。
移載製程
採用無齒隙減速機步進馬達，能以高精度驅動較大的慣性負載。
無外部檢知器即可進行原點復歸
αSTEP AZ系列於馬達後部搭載無需電池的機械式絕對式編碼器（ABZO編碼器）。不須花時間進行檢知器原點復歸，也不會受到外部檢知器問題的影響。
高精度、無齒隙
諧和式減速機與使用一般平齒輪的減速機不同，由於沒有齒隙（齒和齒咬合的間隙），因此能發揮無與倫比的優異定位精度。同時又因咬合齒數多，其小齒的螺距誤差或累積螺距誤差對運轉精度的影響會被平均分散，可得到較高的定位精度。
| 品名 | 角度傳達精度[arcmin] |
|---|---|
| AZM46-HS□ | 1.5（0.025˚） |
| AZM66-HS□ | |
| AZM98-HS□ | （0.017˚） |
驅動大慣性負載
諧和式減速機的剛性高可抗扭轉，不像標準馬達易受負載轉矩變動的影響。
即使是大的慣性體或負載變化大，也能穩定進行高精度定位。
| AZ系列 AZM66AK-HS50 轉子慣性慣量 |
NX系列 NX620A 轉子慣性慣量 |
|---|---|
| 405×10-7 [kg·m2] | 162×10-7 [kg·m2] |
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| AZ系列 AZM66AK-HS50 轉子慣性慣量 |
NX系列 NX620A 轉子慣性慣量 |
| 30375×10-4 [kg·m2] | 20250×10-4 [kg·m2] |
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一體化、小型化
本公司的減速機型馬達，在馬達出力軸直接形成齒輪，不需要聯軸器並可節省空間。
搭載產品
搭載新開發ABZO編碼器，實現無需電池的絕對式系統。
驅動器有脈波列輸入型、I/O控制的內藏定位型及支援網路的驅動器，可配合用途選用。
提供諧和式減速機型等多樣化的馬達。100kg的高載重。
加工製程
採用步進馬達與滾珠螺桿一體化的輕巧電動缸，與自製機構相比，設備更為輕巧。
最適用於微小移動量、高精度定位
不使用聯軸器等連結零件，將中空轉子與滾珠螺桿螺帽一體化，減少因為零件剛性或組合導致的齒隙影響。
備有研磨滾珠螺桿與轉造滾珠螺桿2個種類
【最小移動量】0.001mm
【反覆定位精度】
研磨滾珠螺桿：±0.003mm
轉造滾珠螺桿：±0.01mm
將直線動作機構收納於輕巧的機體中
由於不需要直線導軌和聯軸器等連結零件，機構整體可小型化。與自製的機構相比，必要部件大幅減少。
| 品名 | 構成零件數 | 構成示意圖 | 構成零件 |
|---|---|---|---|
| 自行組裝時 | 9個 |
|
①安裝板 ②搬運工作台 ③直線導軌 ④聯軸器 ⑤固定側擋塊 ⑥滾珠螺桿 ⑦固定側軸承 ⑧支持側擋塊 ⑨支持側軸承 |
| 使用DR系列附導軌型時 | 0個 |
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ー |
多樣的安裝方法
有多種安裝方法，能配合有限空間彈性選擇安裝方法。
使用多種組合構成XYZ組合，讓設備更為輕巧。
安裝參考範例
正面安裝
側面安裝
使用凸緣安裝
（標準型除外）
使用腳座安裝
（DR20標準型除外）
圖為附導軌型。
不需要外部檢知器及裝置空間
搭載αSTEP AZ系列的輕巧本體，實現設備的小型化及輕量化。
透過ABZO編碼器以機械方式管理位置資訊，因此無需原點檢知器、極限檢知器等外部檢知器。
可避免使用外部檢知器所需的定期維修等問題。
刊載產品
αSTEP與滾珠螺桿一體化的輕巧本體，有助於實現設備的小型化並節省空間。
由於設備前端輕量化，可望提高設計的自由度。
驅動馬達搭載αSTEP AZ系列，採用無需電池的絕對式編碼器（ABZO編碼器），因此不需要原點檢知器、極限檢知器等外部檢知器。
藉由統一控制實現多樣化的動作
αSTEP AZ系列的產品種類廣泛，包含馬達附電磁剎車、減速機型等產品。
此外，亦備有將機構製品組合於馬達的電動模組產品。
藉由共用的馬達和電纜線統一配線或控制，有助於縮短設備組裝的時間。
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統一的優點
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配線統一
I/O的PIN腳位配置相同，可有效率地進行電氣設計與配線作業。
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控制統一
控制方法相同，可利用相同方法驅動。網路控制時，遠端I/O和命令代碼相同，因此可節省程式編寫時間。
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維修零件統一
馬達、驅動器、電纜線等皆為共用，因此能控制維修部件的數量，有助於節省管理成本（庫存費用及庫存空間）。
多軸驅動器
αSTEP AZ系列多軸驅動器備有2軸、3軸及4軸型。
一台驅動器能控制多台馬達，簡化與上位PLC之間的配線。
多軸驅動器 4軸型
主電源電纜線：4條
通訊電纜線：4條
馬達用電纜線：8條
合計：16條
主電源電纜線：1條
控制電源電纜線：1條
通訊電纜線：1條
馬達用電纜線：4條
合計：7條
不需要外部檢知器
AZ系列搭載機械式絕對式編碼器（ABZO編碼器），透過即時管理位置資訊，可以省去原點復歸所需的外部檢知器。CG設備採用的5軸皆不需要外部檢知器。不只能減少零件成本，縮短配線時間，還能減少因斷線導致檢知錯誤等檢知器相關問題，有助於節省成本。
縮短原點復歸時間
AZ系列搭載無需電池的機械式絕對式編碼器（ABZO編碼器）。
定位運轉中即使停電或因緊急停止而被切斷電源，仍可保持位置資訊。不使用外部檢知器即可高速進行原點復歸。
搭載產品
以閉回路控制實現高穩定性，透過高效率化技術，大幅減低馬達的發熱。無須在意驅動週期，能頻繁進行短距離的定位運轉。
分別提供對應EtherCAT驅動檔、MECHATROLINK-Ⅲ、SSCNETⅢ/H的產品。可連接AZ系列DC電源輸入型的馬達及電動模組產品。