技術報告 RENGA
真空用步進馬達及其特性
真空用步進馬達及其特性
此為截至2008年11月28日的資訊。
近年，真空技術做為支持半導體、新材料、宇宙、生物技術等先進科技的關鍵技術，不斷發展，且對於真空環境中的定位控制要求，日益升高。本公司為因應這類需求，將安裝尺寸42mm與60mm的中真空及超真空用5相步進馬達商品化（參照圖1）。
本此產品種類新增加了安裝尺寸28mm的高真空用5相步進馬達，在此介紹其諸特性。
目次
- 1. 前言
- 2.真空用馬達
- 2.1.真空與馬達
- 2.2.真空用馬達的優點
- 3.真空用馬達應有的性能
- 4.真空用步進馬達的產品種類
- 5.□28mm真空用步進馬達的諸特性
- 5.1.轉速－轉矩特性
- 5.2.使用真空評估設備的諸特性
- 5.2.1.真空評估設備的概要
- 5.2.2.溫度特性
- 5.2.3.馬達電流－真空用特性
- 5.2.4.殘留氣體圖譜
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1. 前言
近年，真空技術做為支持半導體、新材料、宇宙、生物技術等先進科技的關鍵技術，不斷發展，且對於真空環境中的定位控制要求，日益升高。本公司為因應這類需求，將安裝尺寸42mm與60mm的中真空及超真空用5相步進馬達商品化（參照圖1）。
本此產品種類新增加了安裝尺寸28mm的高真空用5相步進馬達，在此介紹其諸特性。
圖1 真空用步進馬達
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