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步進馬達

真空型(真空度10-5~10-4Pa)

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備有可在10-5~10-4Pa真空環境下使用的真空型步進馬達。
最適合用於在真空中使用的機器之動力。

對應真空

5相步進馬達 PK系列 真空型 10-4Pa適用 下載PDF
5相步進馬達 PK系列 真空型 安裝尺寸28mm 10-5Pa適用 下載PDF
αSTEP AR系列 真空型 脈波列輸入型 10-5Pa適用 下載PDF
特徵
產品陣容

真空型馬達的特徵與構造

為了抑制氣體釋放,馬達外殼使用鋁、不鏽鋼材質,表面不塗裝。此外,軸承使用真空用潤滑油。
釋放的氣體與通常潔淨環境下的成分相同,因此無須擔心污染真空環境。
使用可承受熱處理溫度的耐熱用線圈。

真空型馬達的優點

使設備小型化,擴大設計的自由度

在大氣中設置馬達時,需使用運轉導入機等,設備體積會變大。真空型馬達可將設置於真空環境內,因此可讓設備小型化。
此外,αSTEP AR系列不需要位置確認用檢知器,有助於降低成本。

由於是αSTEP AR系列,位置監視時不需要編碼器

αSTEP AR系列除了透過閉回路控制監視馬達資訊外,還搭載各種警示輸出功能。不需要真空對應型的昂貴編碼器。

搭載轉子位置檢知器(Resolver),可檢知馬達資訊並控制馬達。

在真空中實現各種動作

常用於各式各樣的用途,如半導體製造設備及電子顯微鏡的測量機器等。

真空型馬達可對應真空環境下的多軸平台,解決難以設計運轉導入機的問題。可在真空中組合複數軸,實現更複雜的動作。

低損失的αSTEP AR系列,最適合用在真空中解析、加工等用途

常被運用於低真空中的物質解析、高輸出雷射加工、真空鍍膜等需要在真空環境下定位的用途。



有助於維持真空環境的品質

抑制氣體釋放的設計

為了抑制產生氣體釋放,馬達表面無進行塗裝,軸承部使用真空用潤滑油。主要的殘留氣體與通常潔淨環境下的成分相同,使用時無須擔心污染真空室。

抑制溫度上升維持真空壓

通常,隨著馬達電流值增加,真空壓力會變高。馬達溫度上升主因是線圈或樹脂材料的水分蒸發增加而導致。若要讓真空壓維持較低狀態,重點在於讓馬達保持較低的溫度。

馬達電流值增加→馬達溫度上昇→馬達零件的水分蒸發→真空壓上昇

馬達電流―真空壓特性(通常模式)

αSTEP AR系列具有依據負載轉矩大小調整馬達電流的功能(CC模式)。使用CC模式可抑制馬達溫度,並使維持在低真空壓。

下圖為連續運轉及運轉週期比率(斷續運轉)時的轉速―溫度特性。

轉速―溫度特性(CC模式)

即使是溫度容易升高的連續運轉,若轉速維持在900r/min以下,外表溫度不會超過100℃。
500r/min週期運轉時的外殼溫度與各模式相比,CC模式時為46℃,通常模式時為80℃。CC模式的溫度低了34℃。

詳情請洽本公司客戶諮詢中心0800-060708