步進馬達
真空型（真空度10-5～10-4Pa）
產品陣容
產品種類
| 電源 輸入 |
系列名 | 基本步級角 [°] |
真空度 [Pa] |
安裝尺寸 [mm] |
重量 [kg] |
|||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 28 | 42 | 60 | 85 | |||||
| AC | αSTEP AR系列真空型 |
0.36 | 10-5 | - | ● | ● | ● | 0.47～1.9 |
| DC | ● | ● | ● | ● | 0.2～3 | |||
| DC | 5相PK系列真空型 ／CVD系列驅動器 |
0.72 | 10-4 | - | ● | ● | - | 0.21～1.3 |
| 10-5 | ● | - | - | - | 0.11～0.2 | |||
詳情請洽本公司或客戶諮詢中心0800-060708。
技術資料
技術報告RENGA刊載關於真空馬達的詳細資訊資料。
| 真空用步進馬達及其特性（2008年11月發行） | |
| 記載關於真空的基礎內容。 | |
| 開發搭載對應真空Resolver檢知器的AR系列真空型（2011年6月發行） | |
| 記載αSTEP AR系列的專門內容。 | |
