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新產品訊息
步進馬達 真空型

真空型(真空度10-5~10-4Pa)

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備有可在10-5~10-4Pa真空環境下使用的真空型步進馬達。
最適合用於在真空中使用的機器之動力。

對應真空



真空型馬達的特徵與構造

為了抑制氣體釋放,馬達外殼使用鋁、不鏽鋼材質,表面不塗裝。此外,軸承使用真空用潤滑油。
釋放的氣體與通常潔淨環境下的成分相同,因此無須擔心污染真空環境。
使用可承受熱處理溫度的耐熱用線圈。



真空型馬達的優點

1.使設備小型化,擴大設計的自由度

2.在真空中實現各種動作

3.抑制氣體釋放的設計

4.抑制溫度上升維持真空壓


產品種類

電源
輸入
系列名基本步級角
[°]
真空度
[Pa]
安裝尺寸
[mm]
重量
[kg]
28426085
AC αSTEP AR系列真空型
0.36 10-5 - 0.47~1.9
DC 0.2~3
DC 5相PK系列真空型
/CVD系列驅動器
0.72 10-4 - - 0.21~1.3
10-5 - - - 0.11~0.2