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步進馬達 真空型
真空型（真空度10-5～10-4Pa）
備有可在10-5～10-4Pa真空環境下使用的真空型步進馬達。
最適合用於在真空中使用的機器之動力。
最適合用於在真空中使用的機器之動力。
對應真空
真空型馬達的特徵與構造
● 為了抑制氣體釋放，馬達外殼使用鋁、不鏽鋼材質，表面不塗裝。此外，軸承使用真空用潤滑油。
● 釋放的氣體與通常潔淨環境下的成分相同，因此無須擔心污染真空環境。
● 使用可承受熱處理溫度的耐熱用線圈。
真空型馬達的優點
1.使設備小型化，擴大設計的自由度
2.在真空中實現各種動作
3.抑制氣體釋放的設計
4.抑制溫度上升維持真空壓
產品種類
| 電源 輸入 | 系列名 | 基本步級角 [°] | 真空度 [Pa] | 安裝尺寸 [mm] | 重量 [kg] | |||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 28 | 42 | 60 | 85 | |||||
| AC | αSTEP AR系列真空型 |
0.36 | 10-5 | - | ● | ● | ● | 0.47～1.9 |
| DC | ● | ● | ● | ● | 0.2～3 | |||
| DC | 5相PK系列真空型 ／CVD系列驅動器 |
0.72 | 10-4 | - | ● | ● | - | 0.21～1.3 |
| 10-5 | ● | - | - | - | 0.11～0.2 |
|||
