如何縮短半導體晶圓的檢測時間？
課題
如何縮短半導體晶圓的檢測時間？
設備
晶圓檢測設備
以往的問題點
對晶圓進行多角度檢測時，皮帶驅動的工作台必須頻繁而穩定地起動、停止。不過，若使用伺服馬達來驅動皮帶，停止時會出現頻繁振動，影響檢測效率。此外，由於工作台慣量較大，難以進行增益調整。請問要如何解決因為頻繁起動停止所帶來的振動問題？
解決對策
東方馬達混合式控制系統αSTEP AZ系列步進馬達可取代伺服馬達，除了能避免微振，馬達本身的高轉矩亦能提升整體的檢測效率，無需進行增益調整。
在無微振的狀態下保持停止位置
伺服馬達運轉時會將控制器發出的脈波信號和驅動器發出的回授信號兩相比對，將二者誤差控制為零，藉此控制馬達。因此在皮帶等低剛性機構中，由於需要整定，振動會比較明顯。而AZ系列定位時不會產生微振，可藉由馬達本身的保持力停止，適用於皮帶機構等低剛性機構。
在應用於檢測機構時，如下圖所示，使用步進馬達驅動時無需整定時間，有助於高效率檢測。
高轉矩
AZ系列的高轉矩可在更短的時間內到達指定位置，其優異的加速性與響應性能有效加快生產節拍，在頻繁起動停止的檢測過程中提升效率。
無需檢知器
AZ系列搭載無需電池的機械式絕對式編碼器。
絕對式系統無需原點檢知器、限位檢知器等外部檢知器。因此在配線的設計安裝上有更大的自由空間，省時省力，減輕成本負擔。
