一次解決半導體設備四大關鍵問題
半導體製造設備會遇到的課題與提案
下列四者皆為半導體製造設備會遇到的主要課題。
本次我們將為您介紹
AZ系列 多軸驅動器能對這些半導體設備課題提供何種效益。
本次我們將為您介紹
AZ系列 多軸驅動器能對這些半導體設備課題提供何種效益。
降低設備成本
AZ系列配備的DC電源多軸驅動器最多可控制4軸。另可控制馬達、電動滑台、中空旋轉平台及電動夾爪等多種產品，實現XY圓弧補間及機器人等多樣化的動作。以共用組合等建構產線，可簡化製程或對應多品種，有助於減少成本。
XY 圓弧補間
8軸 打字機器人
透過EtherCAT進行通訊控制
AZ系列 多軸驅動器可對應EtherCAT，有助於以IPC進行系統構成。
EtherCAT上位主站(Master)
16/32/64-axis PCle EtherCAT Master Motion Controller
PCle-8332/PCle-8334/PCle-8338
EtherCAT®為Beckhoff Automation GmbH（德國）授權的註冊商標，為已取得專利的技術。
管理設備溫度
如何使空氣依照Device的測試環境循環，如何避免光學檢知器的檢知精度因馬達等設備內部發熱而下降，皆是半導體設備在溫度管理上會遇到的重大課題。αSTEP AZ系列多軸驅動器可監視馬達及驅動器的溫度。當馬達達到高溫，即將發生Alarm而使設備停止前，即會事先檢知溫度上升，並調查使設備暫時停止的原因。
AZ系列 多軸驅動器的功能
監視
以數值輸出馬達或驅動器的溫度
Information功能
當馬達或驅動器溫度達到設定臨界值時，即會輸出信號
可用於下列用途。
馬達溫度上升的原因⋯⋯
馬達溫度上升的原因⋯⋯
- 冷卻風扇已停止
- 馬達周邊機器溫度過高
- 對馬達施加的負載增加
在設備因發生Alarm而停止前檢查設備異常
Information功能
除溫度管理外，Information功能中亦包含有助於預防保全的功能。例如，累積負載可以面積掌握馬達運轉模式下的負載率。此功能可方便作為馬達的壽命或裝置經年累月的劣化基準。
考量到碳中和的設計 ∼ 節省資源（小型＆節省空間）∼
近年來，各國都發表了與碳中和相關的政策，因此越來越多業者開始尋求在設計時即將節省資源（小型＆節省空間）及節能納入考量的設備。小型化的驅動器有助於節省資源，並可節省電控箱內的空間。可向本公司要求選用服務，確認是否可以AZ系列驅動。
＜AZ系列 單軸DC電源驅動器及多軸驅動器的比較＞
AZ多軸驅動器 4軸型 外形圖
＜與NX系列 AC伺服馬達100W相比＞
NX系列 100W驅動器 外形圖
