EFEM-Mapping(螺桿)
課題
簡化編程指令縮短Mapping時間
提高產速同時讓動作更為平滑順暢
提高產速同時讓動作更為平滑順暢
舊有裝置
- 馬達驅動螺桿帶Sensor執行Mapping，遇到晶圓時速度須放慢，無晶圓時須快速通過，以達到產能提升的需求
- 使用MODBUS讀取到位信號，再發送下一動作指令
以往的問題點
- 上位編寫程序不僅要多道指令，且增加通訊等待時間
- 指令為多段的短行程快速定位，使動作產生頓挫感
解決對策
使用內藏定位型驅動器的自動連結功能，
同時達成簡化編程、縮短時間、動作平順的需求
同時達成簡化編程、縮短時間、動作平順的需求
● 課題機構示意圖
● 提案
▌Before
上位編寫程序不僅要多道指令，且增加通訊等待時間
指令為多段的短行程快速定位，使動作產生頓挫感
▌After 省時順暢
使用AZ系列自動連結功能，將相同間距的多筆絕對定位連結，即可實現快慢間隔的動作
自動連結功能可減少多餘耗費時間，不需上位判斷是否到位才觸發下一筆
設定為形狀連結，可以實現速度無縫連結，整體動作更順暢，不會有頓挫感
● 形狀連結設定範例
