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由應用範例選擇

晶圓的收納、整理

晶圓的收納、整理
晶圓搬運設備的一部分，使用電動缸。步進馬達作為動力來源，可藉由其高精度定位，正確且順暢地將晶圓收納到堆垛機。
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