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首頁 > 支援服務 > 活用案例一覽表 > 擺臂機構-如何提升半導體設備中擺臂機構的性能,實現精確點膠?


擺臂機構

課題
希望將設備內的機械手臂機構小型化
設備
擺臂機構
以往的問題點
使用擺臂機構對半導體零組件(例如:矽晶片)等高價產品進行點膠作業時,常常會發生定位不準確的情形,導致點膠、化學蝕刻不均勻,造成產品不合格率較高。
1. 精度不足
機構精度不足時,將無法準確定位而偏離原本位置,無法將化學藥品滴注在指定位置。
2. 運轉時受振動影響
機構在運轉時振動較大,導致點膠錯誤,無法均勻塗佈/蝕刻。


解決對策
中空旋轉平台 DGⅡ系列

透過改善機構及馬達精度以提升整體精度,減少定位不準確帶來的影響。以東方馬達電動模組產品DGII系列為例。
減少運轉、停止時的微振。


透過改善機構及馬達精度以提升整體精度,減少定位不準確帶來的影響。
DGII系列搭載了混合式控制系統αstep AZ系列定位馬達。
AZ系列採用獨創的控制方式,兼具開回路控制與閉回路控制的優點,定位時不會產生微振,可藉由馬達本身的保持力停止。另外也搭載微步級驅動、平滑驅動功能,能夠減少在低速狀態下的振動,實現平滑動作。


精度更高

DGII系列將機構與步進馬達一體化,可將點膠的擺臂機構直接安裝在旋轉平台上。相較於使用皮帶輪等機構的情形,可大幅提升精度。另外,DGⅡ系列無齒隙,反覆定位精度可達±0.004。

此外,AZ系列採用無需電池的絕對式系統,不需要原點檢知器、限位檢知器等外部檢知器。能有效避免受外部影響而導致檢知器誤動作。

DGII系列用於這類擺臂機構時的其他優勢?

除了能滿足精度需求和解決振動課題之外,DGII系列還具有下列優勢。


構造設計與配線都更簡潔

DGII系列為大口徑中空孔構造,能使點膠裝置等貫穿,構造設計與配線都更簡潔。

搭載的AZ系列馬達無需外部檢知器及電池,且為馬達與機構一體化的產品,可有效減少機構設計、零件調度、調整皮帶狀態等所需的時間及費用。

大慣量高負載,以小型機身即可輸出高轉矩,同時具備優異的加速性與響應性,可加快生產節拍,提升加工效率。