設備溫度管理可視化
課題
設備內風扇運轉速度不穩定，容易影響製程穩定度，造成良率下降。
舊有裝置
在密閉腔體內想實現精準溫度控制，無法使用市售風扇。
最後就需要採用馬達及葉片機構，透過改變馬達轉速，實現溫度控制。
以往的問題點
- 以變頻器控制AC馬達頻率，無回授故無法精確控制轉速與溫度。
- 無法偵測馬達&變頻器的狀態(如：溫度，耗電，負載率等)。
- 馬達外置於腔體，希望縮短突出長度，結省空間。
解決對策
BLV系列R型閉回路且穩定的速度控制及通訊控制，
即可助您解決這樣的問題。
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提案
BLV系列R型可達4000rpm，速度變動率僅有±0.01％，能有效控制扇葉速度。
藉由通訊監視溫度：利用通訊連接馬達及驅動器，可即時監視兩者的溫度。
延伸提案
SPUTTER濺鍍製程的輸送用途，原因：
1. 自1r/min起的低速領域也十分安定，實現順暢的驅動，同時速度變動率低
2. 支援60-400W，若有大負載部分的需求也可以運用。
對應Modbus（RTU）、CANopen通訊
BLV系列 R型對應Modbus（RTU）、CANopen通訊共2種介面。
