活用案例
Wafer AOI(螺桿)
課題
如何提高CCD CAMERA取像精度同時控制成本
舊有裝置
- 馬達連接減速機帶動螺桿，驅動CCD CAMERA對焦，進行Wafer檢查
以往的問題點
- 因為馬達的整定特性(Hunting)，導致取像精度不足，必須使用高規格CCD CAMERA補償影像，導致成本大幅上升
解決對策
步進馬達係完全靜止(無整定)，使用高解析度型，
搭配微步級驅動，即可提高取像精度
搭配微步級驅動，即可提高取像精度
● 機構示意圖
● 解決對策商品
步進馬達PKP系列高解析度型
● 步進馬達不會有整定特性(Hunting)，停止時完全靜止，因此可提高取像精度，
亦不需加裝減速機
如以下示意，將我司的步進馬達與伺服馬達分別安裝雷射，於馬達激磁(Servo On)狀態下，從一定距離照射在屏幕上時，步進馬達仍維持點光源。對於靜止時亦不能有極細微移動的場合，步進馬達特別適合。
AC伺服馬達出力軸是依照編碼器的解析度(±1脈波)以微振狀態停止
● PKP系列高解析度型步進馬達轉子為200極構造，適用於μm或更高等級精細動作
相對於標準型50齒，將轉子的小齒設定為2倍的100齒(轉子N極＋S極＝200齒)，使5相步進馬達基本步級角成為標準型一半的0.36°(2相步進馬達則為0.9°)
● 5相步進馬達在微步級驅動時，仍可維持一致精度(相較於2相微步級)
