活用案例
真空室
課題
希望將真空設備小型化
舊有裝置
- 在真空室內搬運工作物的設備
- 以伺服馬達透過皮帶輪與運轉導入機驅動滾珠螺桿
用途：半導體零件或液晶面板等之加工
以往的問題點
- 由於真空室內無法設置馬達，需要運轉導入機等零件，設備體積因此變大
解決對策
αSTEP AR系列真空型
將馬達設置在真空室內，實現設備小型化
將馬達設置在真空室內，實現設備小型化
αSTEP AR系列真空型可設置在真空室內，有助於讓驅動部節省空間、設備小型化。
具體應用範例
藉由將馬達設置在真空室內，實現設備小型化
AR系列真空型可在高真空（10-5Pa）環境下使用。
由於可將馬達設置在真空室內，無需運轉導入機與皮帶輪等零件。可節省空間，實現設備小型化。
考量到防止真空室污染的設計
為了抑制氣體產生，未在馬達表面進行塗裝，而在軸承使用真空用潤滑油。
主要的殘留氣體皆與一般潔淨環境下的可見成分相同，因此使用時無需擔心會產生真空室內的污染。
即使在真空室內，也能回授馬達狀態
搭載對應真空的Resolver檢知器，可與伺服馬達相同，監視位置資訊或過負載等狀態。
對應真空Resolver檢知器構造
