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首頁 > 支援服務 > 活用案例 >塗佈機 Spin Coater (擺臂Arm)
活用案例

塗佈機Spin Coater (擺臂Arm)

課題
解決擺臂機構大慣量所造成的晃動問題 同時兼顧空間合理性
舊有設備
  • 塗佈機利用高速旋轉時離心力,讓藥液均勻擴散。
  • 擺臂控制藥液的注射位置。


以往的問題點
  • 擺臂機構為偏心旋轉,雖然轉速慢,但因為慣性慣量大,導致定位停止後仍然發生抖動。
  • 抖動造成定位不準,導致塗佈膜厚不均勻,產生不良,成本上升。
解決對策
AZ系列具備高慣性比,搭配減速機再度提高容許慣性,改善擺臂抖動同時縮小馬達體積。
  • AZ系列馬達轉子容許慣性比可達30倍。
  • 搭配減速機後,容許慣性提高為減速比的平方倍,大幅提升對於機械結構慣性的 承受能力。
  • 馬達出力軸齒輪加工,可與減速機直結,不需連軸結構,總長可較市售減速機再縮短。

減速機馬達為何能大慣性驅動

與標準型馬達相較,使用減速機時,可驅動的負戴慣性慣量與減速比的2次方呈正比。因此,馬達雖然小型,卻可以驅動大慣性。

慣性慣量比按以下公式計算
慣性慣量比(參考值)
解決對策產品示意圖
延伸提案
  • 精細控制藥液流量時,可運用小型電動缸取代步進馬達與螺桿機構,達到小型化需求。
  • 若採用蠕動幫浦方式進行定量送液,採用附編碼器步進馬達即可精準控制流量。

幫浦驅動
活用案例-蠕動幫浦定量控制